RP1 · 材料與器件
寬禁帶半導體材料與先進功率器件
從 GaN 與 SiC 外延材料、器件結構到製程工藝,開發更高耐壓、更低損耗、更高可靠性的新一代功率器件,突破矽基器件的物理極限。
挑戰
矽基功率器件正接近其物理極限。要在更高電壓、更高頻率下同時實現更低損耗與更高可靠性,必須從材料與器件結構入手。
研究重點
01
GaN 與 SiC 外延生長與缺陷控制
降低位錯密度,提升大尺寸外延的均勻性與良率。
02
橫向與垂直器件結構
面向不同電壓等級的 HEMT、MOSFET 與新型終端結構。
03
動態電阻與可靠性機理
研究陷阱效應、退化機理與加速試驗方法。
04
高溫高壓封裝界面
鈍化層、金屬接觸與封裝材料的長期穩定性。
預期成果
- 可重複的器件製程配方與設計規則
- 1,200V 及以上等級器件原型
- 面向產業的可靠性測試規範建議